2025-12-15
阿石创申请一种氧化镍旋转靶材及其制备方法专利, 抑制晶粒生长和元素挥发, 减少掺杂元素的挥发
国家知识产权局信息显示，福建阿石创新材料股份有限公司申请一项名为“一种氧化镍旋转靶材及其制备方法”的专利，公开号CN121085615A，申请日期为2025年8月。 专利摘要显示，本发明提供了一种氧化镍旋转靶材及其制备方法，具体涉及氧化物靶材技术领域。本发明提供的制备方法包括:将原料粉末和水混合，进行球磨，造粒，得到造粒粉；以质量百分含量计，所述原料粉末包括氧化镍75～99％、过渡金属氧化物1～20％和改性掺杂剂0～5％；将所述造粒粉进行致密化烧结，得到致密化粉末；将所述致密化粉末进行等离子喷...
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